離子滲氮爐操作要點：

　　1、抽真空。接通總電源，關閉蝶閥，起動真空泵，緩慢打開蝶閥，以避免發(fā)生噴油現象，抽真空至很小真空度。

　　2、向爐內通少量氨氣或氨分解氣，沖洗爐體幾分鐘。在真空度為67Pa左右時，可對爐內輸入400~500V高壓電流電，使工件起輝，對工件打散弧以活化工件表面。

　　3、在30~ 60min內使輝光穩(wěn)定，逐步減少限流電阻或降低滅弧靈敏度。

　　4、按工藝調整真空度、電壓、電流、氣體流量等參數。真空度應通過調整流量計和蝶閥來進行，使抽氣速率平穩(wěn)。

　　5、升溫過程中要注意經常觀察爐內工作情況，如出現打弧或局部溫度過高等現象時，要及時調整各項參數，降低電壓，以降低升溫速度，或暫停供氣。

　　6、通冷卻水，爐體溫度應控制在40~60℃。

　　7、在保溫階段，所需的電流密度小于升溫時所需的電流密度，真空度為267~800Pa，輝光層厚度一般為1.5~3mm。保溫期間應穩(wěn)定氣體流量和抽氣率，以穩(wěn)定爐內氣壓，也應隨時觀察爐內工作狀況，發(fā)現情況及時處理。

　　8、保溫結束后即可降溫。先停止供氣，關閉氣源、電磁閥;然后停止供電：調低電壓，切斷高壓電源，將有關旋鈕、開關及手柄復位。

　　9、將爐內抽至很小真空度，關閉蝶閥，停止真空泵。

　　10、根據工藝需要、工件復雜程度及變形要求等實際情況，控制冷卻速度。方法是：若要降低冷卻速度，可以停止向爐內供氣，停止抽氣，以小電流維持弱輝光，待工件溫度降至300℃以下時再加快冷卻速度。若要加快冷卻速度，可以關掉高壓，繼續(xù)送氣、抽氣，加大冷卻水量。

　　11、設備完全冷卻后停止冷卻水。工件溫度降至150℃以下時，即可打開放氣閥向爐內充氣，充氣結束后再起吊出爐。