離子滲氮是在低真空的含氮?dú)夥罩?，以爐體為陽(yáng)極，被處理工件為陰極，在陰陽(yáng)極間加上數(shù)百伏的直流電壓，使之產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮處理的化學(xué)熱處理工藝。離子滲氮有多種名稱，如離子氮化、輝光放電氮化、離子轟擊滲氮、等離子體滲氮等。

離子滲氮表面形成的滲氮層具有優(yōu)異的力學(xué)性能，如高硬度、高耐磨性、良好的韌性和疲勞強(qiáng)度等，并使離子滲氮零件的使用壽命成倍地提高。此外，離子滲氮節(jié)約能源，滲氮?dú)怏w消耗少，操作環(huán)境沒(méi)有污染。其缺點(diǎn)是設(shè)備昂貴，工藝成本高，不宜于大批量生產(chǎn)。離子滲碳是將工件裝入溫度在900℃以上的真空爐內(nèi)，在碳?xì)浠衔锏臏p壓氣氛中加熱，同時(shí)在工件( 陰極)和陽(yáng)極之間施加高壓直流電，產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，使活化的碳被離子化，在工件附近加速并轟擊工件表面進(jìn)行滲碳的工藝。 離子滲碳從加熱、滲碳到淬火處理，都在同一裝置內(nèi)進(jìn)行。這種裝置是具有輝光放電機(jī)構(gòu)的加熱滲碳室和油淬火室的雙室型熱處理爐。離子滲碳后工件的硬度、疲勞強(qiáng)度、耐磨性等力學(xué)性能比采用傳統(tǒng)滲碳方法所得力學(xué)性能都高，而且滲碳速度快，特別是對(duì)狹小縫隙和小孔能進(jìn)行均勻的滲碳，滲碳層表面碳含量和滲層深度容易控制，工件不易氧化，表面潔凈，耗電量低，沒(méi)有污染。根據(jù)同樣的原理，離子轟擊熱處理還可以進(jìn)行離子碳氮共滲、離子硫氮共滲、離子滲金屬等，所以在國(guó)內(nèi)外具有很大的發(fā)展前途。