在預(yù)熱過(guò)程中，氮化后的零件具有必要的力學(xué)性能，消除了加工過(guò)程中的內(nèi)應(yīng)力，減少了輝光離子氮化爐滲氮過(guò)程中的變形，離子氮化爐為了獲得良好的氮化物層結(jié)構(gòu)，有一個(gè)預(yù)熱過(guò)程，許多零件在滲氮前需要不同的預(yù)熱處理，預(yù)熱工藝對(duì)滲氮參數(shù)的要求，預(yù)熱后，下一道工序的加熱溫度需要比滲氮溫度高20度，否則零件在滲氮過(guò)程中會(huì)變形，變形量無(wú)法控制，我們常用的預(yù)熱工藝包括回火、淬火、回火、正火和退火，淬火和回火是鋼結(jié)構(gòu)常用的預(yù)熱工藝，淬火和回火的回火溫度越高，工件的硬度越低，因此，回火溫度應(yīng)根據(jù)基體性能和滲層性能的要求來(lái)確定。

　　淬火和回火引起的脫碳對(duì)滲碳層的硬度和脆性有很大影響，因此工件在淬火和回火前應(yīng)留有足夠的余量，以便在加工過(guò)程中完全去除脫碳層，對(duì)于滲氮后要求較低的工件，還應(yīng)采取穩(wěn)定化處理和措施，處理溫度應(yīng)低于淬火和回火溫度，高于滲氮溫度，等離子滲氮后，零件尺寸一般略有增加，但小于氣體滲氮。

　　等離子氮化爐后，零件尺寸一般略有增加，但小于氣體滲氮，在滲氮零件的拐角處，由于相鄰兩個(gè)表面同時(shí)滲氮，尺寸膨脹比其他零件更嚴(yán)重，稱(chēng)為邊緣突出，這對(duì)接觸面的承載能力有不良影響。